LDLS光源温度控制器
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LDLS光源温度控制器
产品概述
快速制冷，自动控制，1路控温，控温精度优于10mK。
应用场景
先进的半导体工艺越来越复杂，集成电路制程对于缺陷和精度的检测要求越来越高；半导体检测设备是集成电路工艺中的核心设备，其中检测光源直接决定了性能和效率。
Delivering Growth – in Asia and Beyond.
沪ICP备2023002235号
