RTD-Wafer 测温系统/ RTD-Wafer,测温系统
RTD-Wafer 测温系统可提供高精度、原位热板温度测量,支持光刻胶跟踪系统和晶圆探测器等工艺。 该系统可直接测量晶圆温度的稳定性和均匀性,而不依赖接触式温度传感器。利用该系统,光刻工程师可 测量和微调光刻胶烘烤温度均匀性,确保先进的光刻工艺满足实现高良率所需的温度精度。
Delivering Growth – in Asia and Beyond.