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原位无线测温晶圆系统...

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原位无线测温晶圆系统/ 半导体领域

原位无线测温晶圆系统支持监测干式，浸入式和 EUV 光刻扫描仪。该系统可以产生高精度的晶圆温度时空数据，可以帮助光刻工程师监测影响图案套刻效果的光刻机温度变化。该系统采用标准厚度（12 英寸）的晶圆模式，可用于监测光刻机的温度均匀性和稳定性，精度高，噪声低，可用于光刻的鉴定和匹配。

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原位高温无线测温晶圆系统/ 原位,高温,无线,测温,晶圆,系统

原位高温无线测温晶圆系统能优化和监控各项先进薄膜工艺（FEOL 和 BEOL ALD、CVD 和 PVD）以及其他高温工艺。该系统能测量工艺设备的温度均匀性，提供在实际生产工艺条件下原位测量的高精度晶圆温度时空数据。例如能实际测量等离子体工艺中可能影响工艺窗口和成形性能的温度变化，帮助 IC 制造商优化新材料、晶体管技术和复杂成形技术。

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四通道测温仪FB604/ 国产化替代

四通道测温仪 FB604 是公司国产化高精度测控温产品的主推产品之一，它将高精度电测技术、行业深度需求高度整合，全面解决了实验室温度传感器校准和检定，它具有精度高，使用方便等诸多优点。 FB604 可以测量铂电阻、热敏电阻，在计量、电力、石化、冶金、制药、生物及汽车制造等领域的运营、制造、科研工作中有着广泛的用途，它是温度检定测试的理想选择。

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低温精密控温仪/ 低温精密控温仪

低温精密控温仪是将高精度电测技术、精密控温技术高度整合，全面解决了高精度测温控温的需求，它具有测量精度高、控温精度高、采样速度快、控温速度快、使用方便等诸多优点。低温精密控温仪主要用于精确监控低温温度传感器系列，包括二极管、电阻温度检测器(RTD)。它具有四个传感器输入、四个控制输出，并进行编程以在比例积分微分(PID)模式下进行闭环温度控制。当温度范围超出给定传感器的可用范围时，控制器的区域调节功能会自动切换温度传感器输入，从而实现从300mK到670K以上的无缝温度控制。警报、继电器和模拟电压输出可帮助实现辅助控制功能的自动化。在低温领域、量子计算、大型工业生产、其他科研工作等都有着广泛的用途，它是低温检定测试、控制的理想选择。低温精密控温仪主要用于精确监控低温温度传感器系列，包括二极管、电阻温度检测器(RTD)。它具有四个传感器输入、四个控制输出，并进行编程以在比例积分微分(PID)模式下进行闭环温度控制。当温度范围超出给定传感器的可用范围时，控制器的区域调节功能会自动切换温度传感器输入，从而实现从300mK到670K以上的无缝温度控制。警报、继电器和模拟电压输出可帮助实现辅助控制功能的自动化。在低温领域、量子计算、大型工业生产、其他科研工作等都有着广泛的用途，它是低温检定测试、控制的理想选择。

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